실증플랜트 설계·시공 
초순수 실증 플랜트 구축
- 초순수 국산화 R&D 추진, 실증 플랜트 구축 및 초순수 최고 공급
- `21~`25년 까지 → 설계, 시공 100%, 소부장 70% 국산화 목표
- 반도체급 초순수 생산기술의 해외의존도 탈피를 위해 국산제품 우수성 및 대체 가능성을 검증할 수 있는 실증 규모의 플랜트 구축
| 시설 | 초순수 생산공정 2,400㎥/일 |
|---|---|
| 사업비 | 443억원 |
| 장소 | SK실트론 구미 2공장 내 초순수 생산동 (4층, 390평) |
소부장 핵심장비
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자외선산화 -
탈기막 -
이온교환수지
초순수 인프라 조성
- 세계 최고수준의 종합수질분석실 조성
- 초순수 전항목 분석, ppq (10) 수준, 클린룸(Class1∼100) 구축
- 초순수 플랫폼 센터 구축(~2030년) 및 국내 초순수 산업 육성
- 실증·성능검증·R&D·인재양성·기업지원 등 전주기 지원 인프라 조성
기후에너지환경부, K-water 등 물 전문기업, 연구·교육기관, 정부 부처 간 협력이 가능한 유·무형 플랫폼 ‘초순수 플랫폼센터’를 2030년까지 구축 완료를 목표로 추진중
* 초순수 산업 시장 육성 원동력 확보 및 생태계 마련으로 반도체 등 최첨단산업의 안정적인 제품생산 및 수율 증진에 기여
- T/B제공, 기술 검증
- 수질분석
- 검증제품 이용, 초순수 생산 및 시험
- 폐수 재이용률 향상 기술 개발
- 성능인증, R&D, 인재양성, 기업지원